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一方、特許文献2に記載のチャッキング装置では、コレットとエアシリンダ構造が隣接して配置されるために比較的コンパクトにはなるものの、両者が軸方向に配列されている点では上記と同様であり、構造上はコレットの大きさに対して実施例以上の小型化は難しい。また、コレット12がヘッドキャップ部3とピストン体20にそれぞれ局部的に接触するだけであるとともに、線ばね15や圧縮コイルばね18によって強制的に復帰するように構成されるため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題がある。

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図7には、第6実施形態のハンドリングユニット60の正面図(a)及び縦断面図(b)を示す。この第6実施形態では、第1実施形態と同様のコレット61、ハウジング62及び作動体63を備え、第1実施形態と同様のコネクタ68を介して流体供給口62pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1~第5実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、コレット61が把持対象物Pの内周部を内側から把持する把持面61gを備える複数のフィンガー部61cを備えている点で第1実施形態と異なる。また、この構成に対応して、作動体63は、コレット61の軸孔61xの内部を通過して、コレット61の内面の一部で構成される被動部61tに内側から当接して駆動力を与える駆動部63cを先端外面に備える。さらに、コレット61は、ハウジング62の内面の一部の支持面部62mに(インロー状態で)嵌合する基準部61aを備えるとともに、その軸線方向基端側に、ハウジング62の内面の一部に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部を備えた被固定部61eを備える。この実施形態では、コレット61は、被固定部61eのハウジング62に対する螺合によって軸線方向の位置が固定され、基準部61aのハウジング62の支持面部62mに対する嵌合によって軸線に沿った同軸状の位置及び姿勢が保持されている。これにより、上記各実施形態と同様に、作動時においてコレット61の位置及び姿勢が維持されながら作動体63の駆動部63cにより把持動作が行われるため、把持精度や繰り返し精度を向上できる。

ハンドリングユニット10には、制御部101に検出信号を出力する種々のセンサを設置することができる。例えば、前述の第4実施形態の位置検出器49と同様に、作動体13の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ssを出力する作動体位置検出器S1と、コレット11の軸線方向の位置を検出し、検出信号Scを出力するコレット位置検出器S2と、コレット11の複数の弾性変形部11b又はフィンガー部11cの各々において、弾性変形量やこれに伴う歪に基づく電圧、電流などをそれぞれ検出し、検出信号Sdを出力する把持態様検出器S3~S5と、複数のフィンガー部11cの少なくとも一つに設置され、検出信号Stを出力する熱電対などの把持対象物Pの温度を検出する温度検出器や、導電率を検出する抵抗センサ、把持対象物Pの振動を検出する振動センサなどの、把持対象物の各種の物理量を検出する把持対象物検出器S6とを設けることができる。ここで、上記把持態様検出器S3~S5は、各弾性変形部11bやフィンガー部11cに対応するそれぞれの検出信号Sdを出力するものであってもよく、また、検出信号Sdとして、複数の弾性変形部11bやフィンガー部11cの間のセンサ値の差や比を出力するものであってもよい。

その上、本実施形態では、シリンダ構造12sの内面に対する作動体13のシリンダ摺接部13sの気密なシール領域の軸線方向の範囲内に、上記基準部11aと支持面部13bの摺接構造が配置されるので、コレット11(特に基準部11a)の外周側にもシリンダ構造12sの一部が配置されるため、軸線方向のコンパクト化を図ることができる。また、シリンダ構造12sの上記シール領域の内周側に支持面部13bが配置されることで、支持面部13bの支持面の位置及び姿勢の高精度化を図ることができるため、コレット11の把持精度や繰り返し精度をさらに向上できる。

前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を備えたことを特徴とする加工工具用保持具。 前記軸体は、前記環状弾性体に支持される大径胴部を有し、

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引清•梁章鉅 《归田琐记·张孟词贡士》:“阮芸臺 师哭 孟词 云:‘ 张孟词 志趣高洁,风仪

清·梁章鉅《歸田瑣記·張孟詞貢士》:“阮芸台師哭孟詞雲:‘張孟詞志趣高潔,風儀峻朗,博聞元覽,穎秀邁倫。’”

通気口22qへエアなどの流体を供給し、軸孔21x内から外部へ流体を噴出させることにより、コレット21の内部に紛れ込んだ粉塵やフィンガー部21cの把持面21g上に付着した塵埃などを吹き飛ばし、各所を清浄化することができる。また、通気口22qと軸孔21xを介して吸引を行うことによって、フィンガー部21cの内側へ把持対象物を吸引して、既定の把持位置まで把持対象物を引き込んだり、吸引力そのものによって把持対象物を保持したりすることができる。ここで、上記吸引力を増大させるために、上記スリット11sに相当するスリット21sの内部にシリコーン樹脂などの変形容易なシール材を配置し、把持対象物が複数のフィンガー部21cの各把持面21gによって把持されたとき、コレット21の内部が外部とほとんど連通しなくなるように構成してもよい。

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本発明において、前記ハウジングは、軸線方向先端側の内面に設けられる先端側内面部分と、該先端側内面部分に対して軸線方向基端側に内形寸法を増大させる第1の段部を介して前記シリンダ構造の内面に設けられた基端側内面部分と、を有し、前記作動体は、軸線方向の位置が前記先端側内面部分に重なる範囲の外面に設けられた先端側外面部分と、該先端側外面部分に対して軸線方向基端側に外形寸法を増大させる第2の段部を介して設けられた前記シリンダ摺接部を含む基端側外面部分と、を有し、前記第1の段部は前記第2の段部に対して軸線方向先端側に形成されることが好ましい。この場合において、前記第1の段部と前記第2の段部の間に配置され、前記作動体を軸線方向基端側へ付勢する作動体付勢手段がさらに設けられることが望ましい。前記作動体付勢手段は、前記第1の段部と前記第2の段部の間に収容された弾性復元力を与える弾性体により構成されることが望ましい。

特開平11-281649号公報 実用新案登録第2605038号公報 特許文献1に記載の蓋把持装置では、コレットチャックとこれを駆動するソレノイドが軸方向に配列されるため、把持部と駆動系の一体性が低いために全体が大型化するという問題がある。また、コレットチャックを軸方向に作動させることで把持動作を行うため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題もある。

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